掃描電子顯微鏡(sem)更重要的功能是觀察和分析樣品的微觀形貌。如何獲得清晰、實用的形象才是終的目標。為了獲得良好的圖像,顯微鏡物鏡供應商結合現(xiàn)有數(shù)據(jù),總結了以下步驟:
(1) 在較低的放大倍數(shù)下,可在流動取樣階段找到待分析、放大和聚焦的樣品。較簡單的方法是找出邊界明顯的特征點,利用對比度、亮度、放大倍數(shù)和焦距來制作圖像。盡可能清楚,然后根據(jù)樣本尋找或選擇感興趣的分析點。
(2) 旋轉樣品臺或通過旋轉光柵中圖像組的角度選擇適當?shù)姆糯蟊稊?shù)。另外,為了拍出好照片,我們不僅要解釋問題的學術價值,還要考慮全景的美。
顯微鏡
(3) 在原有放大倍數(shù)的基礎上,使散焦倍率和倍率更有效。這時,你可以選擇縮小要聚焦的區(qū)域。屏幕上會有一個小區(qū)域。在這個小范圍內(nèi),掃描速度更快,這有助于確定入射角。只有將焦距調(diào)整到正焦距,入射光束的低焦或過焦才能使圖像模糊,每小時消除快速散光,使圖像細節(jié)清晰。
(4) 調(diào)整感興趣的分析區(qū)域的對比度和亮度,使整個視野的襯里不僅具有清晰的黑白水平,而且還保持適當?shù)膶Ρ榷?,使表面層次和細?jié)豐富。否則,如果圖像變暗,請減少暗部的細節(jié)。過飽和或過暗會降低亮度,導致細節(jié)丟失。
觀測10000次以上時,必須消除像散,然后對焦。當焦距較低時,焦距過大,垂直方向細長,焦距不伸長,但不明顯。聚焦在正片上,調(diào)整散光的時間、位置和大小,直到圖像清晰。如果圖像被拉長,散光被消除。此時,由于掃描E,聚焦完成。電子顯微鏡的焦距改變了放大倍數(shù)。因此,對焦時間一般是放大倍數(shù)的2-3倍,或者是觀察次數(shù)的倍數(shù),這樣更容易判斷是否為正。用于調(diào)整圖像的焦距旋鈕更清晰。移動樣品后,樣品將達到一定高度。
如果象散或大振幅像散裝置不能以較低的速率改變像散的振幅或方向,則必須考慮電子束軸是否損壞,光學棒是否嚴重污染,樣品是否為磁性,電子光通道中是否有雜質(zhì),或者有問題的時候,應該有針對性地進行處理,進行正常的觀察和分析。
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