長焦顯微鏡以裂像聚焦指示器為測量原理, 采用高精度光學(xué)聚焦點(diǎn)檢測方式進(jìn)行非接觸高低差測量.不僅可以對準(zhǔn)目標(biāo)影像, 還能觀察測量點(diǎn)的表面狀態(tài),對高度,深度,高低差等進(jìn)行測量.本儀器的各種鏡筒還具有明暗場,微分干涉,偏光的觀察功能.所以對極細(xì)微的間隙高低差,夾雜物、微米以下的突起、細(xì)微劃痕進(jìn)行觀察.
長焦顯微鏡是用來測量微小距離或微小距離變化的.新泰科儀器INTEKE.CN其構(gòu)造分為機(jī)械部分和光具部分是一個(gè)長焦顯微鏡,裝在一個(gè)由絲桿帶動的滑動如上,這個(gè)滑動臺連同顯微鏡可以按不同方向安裝.可以對準(zhǔn)前方、上下、左右移動;或?qū)?zhǔn)下方,左右移動.滑動臺安裝在一個(gè)大底座上.(圖1-13)長焦顯微鏡的量程一般為幾個(gè)厘米,分度值為0.001厘米.常見的一種長焦顯微鏡的機(jī)械部分是根據(jù)螺旋測微器原理制造的,一個(gè)與螺距為1毫米的絲桿聯(lián)動的刻度圓盤上有關(guān)100個(gè)等分格.因此,它的分度值是0.001厘米.還有一種類型是用帶0.01毫米標(biāo)尺的測量目鏡來測量微小位移.
長焦顯微鏡的操作步驟:
1.將長焦顯微鏡適當(dāng)安裝,對準(zhǔn)待測物;
2.調(diào)節(jié)顯微鏡的目鏡,以清楚地看到叉絲(或標(biāo)尺);
3.調(diào)節(jié)顯微鏡的聚集情況或移動整個(gè)儀器,使待測物成像清楚,并消除視差,即眼睛上下移動時(shí),看到叉絲與待測物成像清楚,并清除視差,即眼睛上下移動時(shí),看到叉絲與待測物成的像之間無相對移動;
4.先讓叉絲對準(zhǔn)待測物上一點(diǎn)(或一條線)A,記下讀數(shù);轉(zhuǎn)動絲桿,對準(zhǔn)另一點(diǎn)B,再記下讀數(shù),兩次讀數(shù)之差即AB 之間的距離.注意兩次讀數(shù)時(shí)絲桿必須只向一個(gè)方向移動,以避免螺距差.
1.長焦顯微鏡的精度在出廠時(shí)已調(diào)整好,不允許自行拆裝,由此而影響該顯微鏡的讀數(shù)精度由客戶負(fù)責(zé).
2.長焦顯微鏡存放和使用時(shí),應(yīng)避免灰塵,潮濕和有腐蝕性氣體的環(huán)境中.
3.把長焦顯微鏡置于元件上當(dāng)顯微鏡與工件置于一起時(shí)手不要抖動因?yàn)轱@微鏡與工件的結(jié)合不是很緊固稍不注意會造成讀數(shù)誤差把透光孔對向光亮處;
4.通過旋轉(zhuǎn)螺母使標(biāo)線沿X軸左右移動;
5.標(biāo)線與壓痕的兩側(cè)分別相切此時(shí)標(biāo)線走過的距離即為壓痕直徑;
長焦顯微鏡是用來測量微小距離或微小距離變化的其構(gòu)造分為機(jī)械部分和光具部分是一個(gè)長焦顯微鏡裝在一個(gè)由絲桿帶動的滑動如上這個(gè)滑動臺連同顯微鏡可以按不同方向安裝可以對準(zhǔn)前方上下左右移動或?qū)?zhǔn)下方左右移動滑動臺安裝在一個(gè)大底座上;
用途:適用于硅片、IC、LCD、TFT、PCB、MEMS激光加工、晶片測試、半導(dǎo)體材料、線束加工蝕刻、液晶電池蓋、導(dǎo)線框架等產(chǎn)品的檢查觀察.也適用于經(jīng)過磨拋、化學(xué)處理的工件表面的金相組織結(jié)構(gòu),幾何形狀進(jìn)行顯微觀測.并且有三維的測量功能,其解析率達(dá)0.0005mm.因此是精密零件,集成電路,半導(dǎo)體芯片,光伏電池,光學(xué)材料等行業(yè)的*儀器.
