簡(jiǎn)要描述:AL120-12 顯微鏡光學(xué)顯微鏡由目鏡,物鏡,粗準(zhǔn)焦螺旋,細(xì)準(zhǔn)焦螺旋,壓片夾,通光孔,遮光器,轉(zhuǎn)換器,反光鏡;載物臺(tái),鏡臂,鏡筒,鏡座,聚光器,光闌組成。
AL120-12晶圓搬送機(jī)對(duì)應(yīng)可使用FOUP(裝載口)和FOSB,適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)確保了操作人員在搬送晶圓時(shí)(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和安全。
可以自由設(shè)置的檢查模式,在設(shè)計(jì)上考慮了后道工程中的操作性,尤為重視設(shè)備的操作簡(jiǎn)便性。
分別對(duì)應(yīng)FOUP(Load Port)和FOSB的兩種機(jī)型。
延續(xù)了上一代機(jī)型的堅(jiān)固性、可靠性和安全性,能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓。
薄片,Warped晶圓皆能安全搬送。
宏觀觀察位置的優(yōu)化和操作單元的集中排列,提高了設(shè)備的操作舒適性。
為異物、傷痕、膜斑、散焦的發(fā)現(xiàn)提供了很好照明方式
高亮度金屬鹵化物光源與光纖照明的組合,實(shí)現(xiàn)了300 mm晶圓的冷光源全面照射。
AL120-12顯微鏡
AL120-12顯微鏡